今年IEDM上,围绕摩尔定律延续的问题,又有几个比较重要的技术发布,包括CFET——也就是3D堆叠晶体管要用背面供电,背面供电技术本身则有了新的实现方案,GaN功率晶体管则和Si CMOS驱动放到了一起... 现在还在从事尖端与先进制造工艺的半导体fab和foundry厂 ...
两层金属氧化物薄膜材料起到抗反射涂层(ARC)作用;其中,HfO 2 薄膜在紫外到近红外有着良好的透过率(>80),与silicon晶格匹配好,具有较高的激光损伤阈值; HfO 2 薄膜中固定电荷(负电荷)会在silicon表面感应出正电荷,形成表面P区,起到PINimplant降低入射光线 ...